全自動多気道リークテスタ 

型式:MS-5000シリーズ

概要:全自動小型電子部品の大リーク漏れ検測設備。

仕様:測定タクト: 1~2.5sec/個

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光電スイッチ 接点付圧力計

型式:形番 JK50

概要:本器は、接点機構にフォトマイクロセンサを採用した信頼性に優れる、小形の接点付圧力計です。

仕様:圧力レンジ:-0.1~35MPa 精度:±2%F.S.

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半導体産業用圧力計

型式:形番 GW_

概要:一般~クリーングレード(A・B) 半導体産業向け圧力計です。

仕様:圧力レンジ:-0.1~100MPa 精度:±1.5%F.S.

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半導体産業用圧力計

型式:形番 GW28

概要:半導体集積化プロセス向け圧力計です。

仕様:圧力レンジ:-0.1~25MPa 精度:±1.5%F.S.

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半導体産業用圧力計

型式:形番 GW35・GW45

概要:半導体集積化プロセス向け圧力計です。

仕様:圧力レンジ:0~3.5MPa 精度:±3%F.S.

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半導体産業用 デジタル圧力計

型式:形番 ZT60

概要:表示、スイッチ、4~20mA機能搭載デジタル圧力計です。

仕様:レンジ:-0.1~20MPa 精度:±1%F.S.

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半導体産業用 小形デジタル圧力計

型式:形番 ZT67

概要:ガス供給ライン用途(シリンダーキャビネット、集積化ガスパネル)半導体産業用の小形デジタル圧力計です。

仕様:量程:-0.1~20MPa 精度:±1%F.S.

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半導体産業用圧力スイッチ

型式:形番 CB14

概要:本器は、半導体製造に不可欠な各種ガス専用に開発した簡易な構造の小形・軽量な圧力スイッチです。

仕様:圧力レンジ:-0.1~2.1MPa 精度:±1%F.S.

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圧力トランスミッタ

型式:形番 ZT11

概要:本器は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力変換器です。

仕様:圧力レンジ:0-20MPa 絶対圧:0-1MPa abs 精度:±1%或は±0.5%F.S.

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圧力トランスミッタ

型式:形番 ZT15

概要:本器は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力変換器です。

仕様:圧力レンジ:0-20MPa 絶対圧:0-1MPa abs 精度:±1%或は±0.5%F.S.

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半導体産業用本質安全防爆構造圧力トランスミッタ

型式:形番 KJ96

概要:本製品は、SSセンサを用いた本質安全防爆構造の2線式圧力トランスミッタです。

仕様:圧力レンジ:-0.1-20MPa 精度:±1%或は±0.5%F.S.

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圧力調整弁

型式:形番 XR56

概要:各種半導体ガス供給系及び製造装置用に開発した汎用圧力調整弁です。

仕様:一次圧力:2MPa 二次圧力:0.01-0.3MPa

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小形圧力調整弁

型式:形番 XR66

概要:半導体用プロセスのユースポイントで使用できる小形圧力調整弁です。

仕様:一次圧力:1MPa 二次圧力:0.05-0.7MPa

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