半導体産業用 デジタル圧力計

半導体産業用 デジタル圧力計
形番 ZT60

製品情報:

感圧部に、耐久性・安定性に実績のある半導体歪ゲージを使用した半導体産業用のデジタル圧力計です。コンパレータ出力、アナログ出力や、ループチェック機能等の多彩なインテリジェント機能を装備しており、信頼性の高い計測が行えます。

製品特徴

· SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています
·  ※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください
· 明るく、見やすい大型4桁LED表示を採用しており、また表示部は縦方向、横方向を任意に選択できます
· ループチェック機能により点検業務の省力化が図れ、またスケーリング機能(表示、出力)とゼロ点調整機能により面倒な調整が不要です
· 取付形式が、水平取付、垂直取付から選択できると共に、接続継手の種類が豊富です