ダウンロード製品特徴
· ガス供給系のコストダウン、コンパクト化に対応し、特に小形化されています
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クリーンルーム（クラス10000）内において組立・調整・検査・梱包を行いパーティクル量を抑えました
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二次圧力の監視用として圧力計を取付けたタイプもあります
· ガス供給系のコストダウン、コンパクト化に対応し、特に小形化されています
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クリーンルーム（クラス10000）内において組立・調整・検査・梱包を行いパーティクル量を抑えました
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二次圧力の監視用として圧力計を取付けたタイプもあります
4000-1919-15(圧力･温度)