小形圧力調整弁
形番 XR66

· 小形ながら標準流量が20L/min.※1最大流量が50L/min.と比較的大きな流量を実現いたしました
· 　（ネジ継手タイプ） 内容量が約3.1mLと少なく、接ガス部はウルトラクリーン（UC）処理を行っております
· 接ガス部にはアウトガス、パーティクルの発生源となるねじはありません
· 外部シールは全てメタルシートになっています
· ダイアフラムにハステロイC-22相当を採用し耐食性と耐久性を向上させています