半導体産業用圧力計
形番 GW28

製品情報：

半導体高純度ガス、及び腐食性ガスの雰囲気等の条件下でも優れた性能を発揮します。気密性・洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導体プロセス等、特に高純度流体向けに適した圧力計です。

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製品特徴

· φ28サイズの小径タイプのため、集積化マウントの省スペース化に貢献できます
· 接ガス部は、従来のＣ形ブルドン管に比べ、単純なダイアフラム式であるため、洗浄やガスフラッシングが容易に出来る構造です
· 　従来品（小型ブルドン管式）に対して接ガス部内容積は、約1/2となりガスが滞留するデッドスペース（接ガス部内容積）が大幅に低減されています

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