型式:形番 XR56
概要:各種半導体ガス供給系及び製造装置用に開発した汎用圧力調整弁です。
仕様:一次圧力:2MPa 二次圧力:0.01-0.3MPa
型式:形番 XR66
概要:半導体用プロセスのユースポイントで使用できる小形圧力調整弁です。
仕様:一次圧力:1MPa 二次圧力:0.05-0.7MPa
4000-1919-15(圧力･温度)