半導体産業用圧力計

型式:形番 GW_

概要:一般~クリーングレード(A・B) 半導体産業向け圧力計です。

仕様:圧力レンジ:-0.1~100MPa 精度:±1.5%F.S.

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半導体産業用圧力計

型式:形番 GW28

概要:半導体集積化プロセス向け圧力計です。

仕様:圧力レンジ:-0.1~25MPa 精度:±1.5%F.S.

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半導体産業用圧力計

型式:形番 GW35・GW45

概要:半導体集積化プロセス向け圧力計です。

仕様:圧力レンジ:0~3.5MPa 精度:±3%F.S.

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半導体産業用 デジタル圧力計

型式:形番 ZT60

概要:表示、スイッチ、4~20mA機能搭載デジタル圧力計です。

仕様:レンジ:-0.1~20MPa 精度:±1%F.S.

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半導体産業用 小形デジタル圧力計

型式:形番 ZT67

概要:ガス供給ライン用途(シリンダーキャビネット、集積化ガスパネル)半導体産業用の小形デジタル圧力計です。

仕様:量程:-0.1~20MPa 精度:±1%F.S.

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