型式:FFM-100シリーズ
概要:一定の流量を作り出す基準器。「漏れ量」の基準器。フロースタンダード(負圧・低圧~中圧対応)。
仕様:流量レンジ: 0.1~200mL/min
もっと見る型式:FFM-110シリーズ
概要:定量圧力より定量の流量を作り出す基準器です,設備点検、精度確認、パラメーター設定につかいます。
仕様:漏れ率範囲: 0.2~100mL/min;100mL/min以上の場合特注可能
もっと見る型式:FFM‐1000/2000シリーズ
概要:微小漏れフロースタンダート(トレサービリディー有り/無し選択可能)
仕様:漏れ率範囲: 1×10⁻⁹~9×10⁻⁴Pa•m³/s ;圧力レンジ:-0.1MPa~2MPa
もっと見る型式:FFM-10/20シリーズ
概要:超微型フロースタンダートFFM-10/20シリーズ。
仕様:漏れ率範囲: 10⁻⁸Pa•m³/s~10⁻⁴Pa•m³/s 圧力レンジ:-100~1000kPa
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