型式:APUシリーズ
概要:制御用センサを本体内部とワーク側の2箇所に設置することで、高速制御及び高精度測定が可能な電空レギュレータです。
仕様:圧力レンジ:-99~1000kPa 制御精度0.1%F.S.
型式:EPシリーズ
概要:圧力制御ユニットはシンプルかつ高速な精密圧りぃくレギュレータと、コントローラの合わせたにより、精密な圧力制御を実現しました。
仕様:圧力レンジ:0.3 ~0.9MPa 直線性: ±0.3%F.S