デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
· デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです· ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います